โต๊ะเซมิคอนดักเตอร์แบบหมุนกลวงเป็นอุปกรณ์กำหนดตำแหน่งแบบหมุนที่มีความแม่นยำสูง- ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับสถานการณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ค่านิยมหลักอยู่ที่การแก้ปัญหาการวางตำแหน่งระดับไมโคร การป้องกันที่สะอาด และปัญหาการรวมไปป์ไลน์ของกระบวนการในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์และบรรจุภัณฑ์ชิปผ่าน "การออกแบบการปรับโครงสร้างกลวงที่สะอาดเป็นพิเศษ+การออกแบบการปรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์" มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการหลัก เช่น ความช่วยเหลือในการพิมพ์หินด้วยแสง การตรวจสอบแผ่นเวเฟอร์ และการบรรจุเซมิคอนดักเตอร์ และเป็นองค์ประกอบสำคัญในการรับประกันผลผลิตของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์
โต๊ะเซมิคอนดักเตอร์แบบหมุนกลวงเป็นระบบกำหนดตำแหน่งแบบหมุนที่มีความแม่นยำสูง-และสะอาดสูง ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ การบรรจุ และการทดสอบ โดยผสานรวมตัวบ่งชี้ทางเทคนิคระดับบนสุด-ของแท่นหมุนแบบกลวง และได้รับการปรับให้เหมาะสมเป็นพิเศษสำหรับความต้องการขั้นรุนแรงของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เป็นองค์ประกอบการทำงานหลักเพื่อให้ได้ตำแหน่งที่แม่นยำ การส่งผ่าน และการประมวลผลของเวเฟอร์และตัวพาชิป ซึ่งเกี่ยวข้องโดยตรงกับผลผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์
คุณลักษณะหลักของ Hollow Rotary Semiconductor Table คือช่องกลวงที่สะอาดเป็นพิเศษและโครงสร้างที่สอดคล้องกับเซมิคอนดักเตอร์: โดยปกติรูรับแสงกลวงจะอยู่ที่ 50 มม.-300 มม. และผนังด้านในของช่องนั้นเคลือบด้วยเซรามิกอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง- ซึ่งได้รับการขัดเงาด้วยความแม่นยำสูงเป็นพิเศษ (ความหยาบ Ra น้อยกว่าหรือเท่ากับ 0.005 μ m) สามารถใช้เพื่อส่งผ่านไปป์ไลน์แขนเครื่องถ่ายโอนเวเฟอร์ ท่อเคลือบด้วยแสง และเส้นใยแสงตรวจจับ หลีกเลี่ยงการพันกันของเส้นระหว่างการหมุน ท็อปโต๊ะทำจากสเตนเลสสตีลหรือซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ไม่ใช่แม่เหล็ก- และพื้นผิวได้รับการเคลือบด้วยพลาสมา (ด้วยระดับความสะอาดระดับ 1) ซึ่งไม่เสี่ยงต่อการหลุดของอนุภาค อินเทอร์เฟซการดูดซับสูญญากาศเวเฟอร์ที่ตั้งไว้ล่วงหน้าและรูเข็มระบุตำแหน่งมีการเคลือบป้องกันไฟฟ้าสถิตที่ขอบ ซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานการป้องกัน ESD ของห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ ติดตั้งภายในด้วยระบบขับเคลื่อนแม่เหล็กลอย (ไม่มีการสึกหรอของการสัมผัสทางกลไก) ควบคู่ไปกับการควบคุมเซอร์โวเฉพาะของเซมิคอนดักเตอร์ ความแม่นยำของตำแหน่งซ้ำสามารถเข้าถึง ± 1 อาร์ควินาที ซึ่งตรงตามข้อกำหนดของกระบวนการระดับนาโน
โต๊ะเซมิคอนดักเตอร์โรตารีแบบกลวงเป็นแพลตฟอร์มการเคลื่อนไหวหลักสำหรับอุปกรณ์ระดับไฮเอนด์- เช่น สถานีโพรบเวเฟอร์ เครื่องวางชิป เครื่องเชื่อมลวด เครื่องถ่ายภาพหิน อุปกรณ์ตรวจสอบเซมิคอนดักเตอร์ (AOI) และบรรจุภัณฑ์ขั้นสูง (เช่น 2.5D/3D IC) มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในขั้นตอนต่างๆ ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ส่วนหน้า-และการบรรจุและการทดสอบส่วนหลัง- และเป็น "รากฐานที่สำคัญในการหมุนอย่างแม่นยำ" ที่สนับสนุนกฎของมัวร์ในการก้าวไปข้างหน้าต่อไปและบรรลุประสิทธิภาพที่สูงขึ้นและขนาดชิปที่เล็กลง
ในหน้านี้ เราขอแนะนำชุดของ Hollow Rotary Semiconductor Table TMN130 คุณจะเห็นเอกสารข้อมูล รูปภาพการผลิต วิดีโอการทดสอบดังต่อไปนี้:
นอกจากนี้คุณยังสามารถชมโครงการเพิ่มเติมหรือเยี่ยมชมแกลเลอรีวิดีโอของเราทาง Youtube: https://www.youtube.com/@tallmanrobotics
ป้ายกำกับยอดนิยม: โต๊ะเซมิคอนดักเตอร์แบบหมุนกลวง ผู้ผลิตโต๊ะเซมิคอนดักเตอร์แบบหมุนกลวง ซัพพลายเออร์ โรงงาน
